Pemilihan Pompa Vakum ---Panduan
Saat memilih pompa vakum, Anda perlu memperhatikan hal-hal berikut:
1. Tekanan kerja pompa vakum harus memenuhi persyaratan vakum akhir dan tekanan kerja peralatan vakum. Misalnya: pelapisan vakum memerlukan derajat vakum 110-5mmHg, dan derajat vakum pompa vakum yang dipilih harus minimal 510-6mmHg. Biasanya derajat vakum pompa dipilih setengah sampai satu urutan besarnya lebih tinggi dari derajat vakum peralatan vakum.
2. Pilih dengan benar titik kerja pompa vakum. Setiap jenis pompa memiliki kisaran tekanan kerja tertentu, seperti 10-3~10-7mmHg untuk pompa difusi. Dalam rentang tekanan yang begitu luas, kecepatan pemompaan pompa berubah seiring dengan tekanan, dan rentang tekanan kerja stabilnya adalah 510-4 ~510-6mmHg. Oleh karena itu, titik kerja pompa harus dipilih dalam kisaran ini dan tidak boleh bekerja di bawah 10-8mmHg untuk waktu yang lama. Contoh lainnya adalah pompa sublimasi titanium dapat bekerja pada 10-2mmHg, namun tekanan kerjanya harus kurang dari 110-5mmHg.
3. Pompa vakum harus mampu mengeluarkan semua gas yang dihasilkan selama proses peralatan vakum di bawah tekanan kerjanya. 4. Gabungkan pompa vakum dengan benar. Karena pompa vakum memiliki kemampuan pemompaan selektif, terkadang satu jenis pompa tidak dapat memenuhi kebutuhan pemompaan, dan beberapa pompa perlu digabungkan untuk saling melengkapi guna memenuhi kebutuhan pemompaan. Misalnya, pompa sublimasi titanium memiliki kecepatan pemompaan hidrogen yang tinggi tetapi tidak dapat memompa helium, sedangkan pompa ion sputtering tripole (atau pompa ion sputtering katoda asimetris dioda) memiliki kecepatan pemompaan tertentu untuk argon. Jika digabungkan, perangkat vakum akan memperoleh tingkat vakum yang lebih baik. Selain itu, beberapa pompa vakum tidak dapat bekerja di bawah tekanan atmosfer dan memerlukan pra-vakum; beberapa pompa vakum memiliki tekanan keluar yang lebih rendah dari tekanan atmosfer dan memerlukan pompa pendukung, sehingga pompa perlu digabungkan.
5. Persyaratan pencemaran minyak pada peralatan vakum. Jika peralatan benar-benar memerlukan bebas minyak, berbagai pompa bebas minyak harus dipilih, seperti: pompa cincin air, pompa adsorpsi saringan molekuler, pompa ion sputtering, pompa kriogenik, dll. Jika persyaratannya tidak ketat, Anda dapat memilih untuk memiliki pompa oli dan menambahkan beberapa tindakan anti polusi minyak, seperti menambahkan perangkap dingin, penyekat, perangkap minyak, dll., untuk mencapai persyaratan vakum yang bersih.
6. Pahami komposisi gas yang dipompa, apakah mengandung uap yang dapat mengembun, apakah terdapat partikel debu, apakah bersifat korosif, dll. Saat memilih pompa vakum, Anda perlu mengetahui komposisi gas dan memilih pompa yang sesuai untuk gas tersebut. untuk dipompa. Jika gas mengandung uap, partikel, dan gas korosif, sebaiknya pertimbangkan untuk memasang peralatan tambahan, seperti kondensor, pengumpul debu, dll., pada pipa saluran masuk udara pompa.
7. Apa dampak uap minyak yang dikeluarkan dari pompa vakum terhadap lingkungan? Jika lingkungan tidak memungkinkan polusi, Anda dapat memilih pompa vakum bebas minyak atau membuang uap minyak ke luar ruangan.
8. Apakah getaran yang ditimbulkan oleh pompa vakum selama pengoperasian berdampak pada proses dan lingkungan? Jika proses tidak memungkinkan, pompa bebas getaran harus dipilih atau tindakan anti-getaran harus diambil.
9. Harga, biaya pengoperasian dan pemeliharaan pompa vakum.